Batch cassette transfer (Manual CTC)
2018-09-15
Foup transfer (Auto CTC)
2018-09-15
Batch cassette transfer (Auto CTC)
產品名稱:自動晶舟轉換器
產品型號 :
150mm cassette transfer (Auto CTC 150)
200mm cassette transfer (Auto CTC 200)
服務範圍 :
| Inspection | Repair | Retrofit | Exchange | Overhaul | Spare Parts |
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功用:
- 用於晶舟對晶舟的晶圓對傳
- 使用在進出貨晶舟轉換
運用範圍:
- 半導體廠
- IC封裝廠
特性:
- 適用各種100/150/200mm晶舟
- 有緊急開關
- 阻力調整,預防晶舟變形
- ESD:4~7
- 料件壽命長
- 料件保養容易
- 有防呆裝置,放置錯誤或放置不當,無法操作
