ASYST 300mm Spartan Sorter EFEM 3 IO
ASYST 300mm Spartan Sorter EFEM Compact with 3 I/O
2018-09-15
cassette transfer (Auto CTC150)
Batch cassette transfer (Auto CTC)
2018-09-15
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Batch cassette transfer (Manual CTC)

產品名稱 :自動晶舟轉換器

產品型號 :
CTC 105/100 mm (Manual 105/100 mm)
CTC 200 mm (Manual 200 mm)

服務範圍:

Inspection Repair Retrofit Exchange Overhaul Spare Parts

功用:

  • 用於晶舟對晶舟的晶圓對傳
  • 使用在進出貨晶舟轉換

運用範圍:

  • 半導體廠
  • IC封裝廠

特性:

  • 適用各種100/150/200mm晶舟
  • ESD:4~7
  • 料件壽命長
  • 料件保養容易
  • 有防呆裝置,放置錯誤或放置不當,無法操作