翹曲度量測架構
2026-02-12
機械手臂結合視覺系統之整合方案
2026-02-13
PLP Load Port 視覺檢測系統
英文 : PLP Load Port Vision
服務範圍 :
| Inspection | Customization | Spare Parts |
| ● | ● |
● |
適用範圍:
1. 4”6”8”12”Wafer，
2. 310*310/510*515 PLP
詳細介紹:
- 視覺模組安裝於 Door 上方，當 Door 開始下降時，自動啟動量測程序。
- 燈條照明於 Door 下降同步點亮，提供穩定光源以提升取像品質。
- 在 Door 下降過程中，視覺系統以水平對位方式連續取像，逐一取得各 Slot 的實際狀態。
- 影像取得後，視覺系統進行數據運算與分析，精確判讀並輸出對應狀態資訊。
