ASYST Load Port S3
ASYST load port S3
2018-02-26
TDK load port E4
2018-02-26
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TDK load port E3

產品名稱 : 晶圓傳送機 / TDK Load Port E3

產品型號 : TDK load port E3

服務範圍 :

Inspection Repair Retrofit Exchange Overhaul Spare Parts
分類:

備品料件 :

Docking Cylinder
(205mm)-F1
Docking Cylinder
(205mm)-F1
Vacuum 電磁閥
(附Cable)-E2,E3,F1
Auto Switch
(Dock:CLS02a)-F1
Photo Sensor
(Placement 前:PH01)-F1
Amplifier for
Switch-E3,E4
壓力Switch(+Air Switch)
-E3,F1
CPU Board-E2
Main Board-E3 Main Board-F1 Beam Sensor
(防手夾左:上受光ES04A)-E3
Auto Switch
(Door Open CLS04a)-E3
Fiber Sensor-E2,E3,E4 Flat Cable LED2-E4 LED 燈號信息顯示面板-E3 Fuse A1
Fuse A2 中繼基板-E3 Linier Guide-E3 中繼基板-E3